- 4년여에 걸친 연구개발로 화학증착장치(CVD)에서 반도체용 식각장치로 제품 다변화 확대

반도체 및 LCD전공정 장치 전문업체인 주성엔지니어링(대표이사 황철주)이 400만불 상당의 300mm용 건식식각장치(제품명 타키온 Tachyon)를 하이닉스 반도체에 공급하였다고 1월 4일 공식 발표하였다.

4년여에 걸쳐 300여억원의 개발비가 투자되어 제품개발에 성공한 식각장치는 소수의 외국계 회사가 주로 공급하고 있는 장치로 전세계적으로 연간 20억불 이상의 시장이 형성되어있는 제품이다. 주성의 건식식각장치는 웨이퍼에 형성된 패턴에 따라 막의 모양을 깍아 내는 장치로 기존 직렬안테나의 단점을 극복하기 위해 병렬공명안테나란 독창적인 기술을 채택하여 균일한 플라즈마를 제공할 수 있기 때문에 300mm이상 큰 면적의 웨이퍼 가공에 탁월한 효과를 발휘한다. 특히, 주성의 식각장치는 플라즈마 효율이 높고 웨이퍼에 주는 손상을 최소화하기 때문에 높은 수율을 기대할 수 있는 장점을 가지고 있다.

주성의 관계자는 이번 식각장치는 본격적인 제품판매에 앞서 양산적용 평가용 제품으로 출하되었음을 밝히며, 2002년 말 주성이 반도체용 화학증착장치 전문업체에서 LCD용 화학증착장치로 제품다변화에 성공하여 기록적인 매출 향상을 이루어내 제2의 도약을 이루어내었듯이 이번 화학증착장비에서 식각장치로의 제품다변화 확대는 주성의 제3의 도약의 계기가 될 수 있을 것으로 전망하였다. 지난해 주성의 반도체 매출비중은 약 30%이나 이번 식각장치개발로 반도체용 제품의 다변화에 성공하여 향후 반도체장치 매출비중의 지속적인 증가와 더불어 매출신장에 크게 기여할 수 있을 것으로 기대된다.