LCD 및 반도체용 전공정 장치 업체인 주성엔지니어링(대표이사 황철주)은 이제까지의 LCD 기판 중 최대의 사이즈인 2100x2300 급의 7세대까지 대응할 수 있는 PE-CVD 장치를 개발 완료했다고 발표했다. 최근 개발을 완료하였다고 발표한 외국의 장치 경우 그 기판 크기가 1800x2200 선인 것에 비추어 보면 이번 주성의 신 장치는 모든 7세대를 대상으로 할 수 있는 장점을 가진 장치로 볼 수 있다.

주성의 개발 책임자에 따르면 특히 이장치는 대응 면적이 6세대 기판의 1.8배 가까이 커짐에 따른 여러 가지 문제를 해결하기 위하여 기술적인 측면과 생산성 측면에서의 혁신적 개선이 이루어졌다고 한다. 7세대 이상의 대형 기판에서는 기존의 플라즈마 기술로는, 자체 파장의 물리적 한계로 인하여 막 균일도의 유지에 어려움이 있는데, 이의 해결을 위하여 주성에서는 새로운 플라즈마 기술을 사용하였으며 그 결과 종래 기술의 고질적 문제점인 Showerhead라는 부품을 사용하지 않게 되어 품질을 높임은 물론 유지 비용을 대폭 줄일 수 있게 되었다고 한다. 종래의 showerhead는 arcing이나 particle 문제가 매우 심각하여 주기적으로 교체를 해 주어야 하는 핵심 부품이었으나 주성의 개발 장치는 그 구조가 간단하고 수명이 반 영구적인 특징을 가지고 있으므로 장치의 제작 및 유지 비용을 획기적으로 절감할 수 있는 장점이 있다고 한다. 또한 이 장치는 기판을 들어올리는 Lift Pin을 사용하지 않는다고 한다. Lift pin은 Glass를 운송하는데 있어 필수적인 장치이지만, pin 위치 주변에는 증착 불량을 유발하는 치명적인 단점이 있다. 따라서 판넬 생산 시에 반드시 이러한 증착 불량을 감안하여야 하므로 그 동안 device 업체들이 제품의 생산을 효율적으로 하는데 있어 매우 많은 제한을 주었다. 주성은 Lift Pin을 제거함으로써 이런 증착 불량의 요소를 완전히 제거 했고, 더욱이 pin에 의해 glass 깨지는 현상을 해결했다. 더욱 중요한 장점은 제품의 생산에 있어 그 동안 Pin에 의해 불가능 했던 다양한 제품의 생산(예: 15"/17"/28"/30"/32"/42"/46") 을 자유로이 할 수 있음으로 해서 제품의 생산 효율을 획기적으로 개선 할 수 있다는 것이다.

한편, 기판과 장치가 대형화함에 따라서 그 생산성이 더욱 중요한 요소인데 이번에 주성이 발표한 새로운 장치는 생산성 면에서도 기존의 설비 대비 약 2 배 가량 개선된 시간당 100매를 처리 할 수 있는 능력을 가졌다고 관계자는 전했다. 수 일 전 주성의 경쟁사인 AKT사는 1800*2200 기판을 시간당 60매의 생산성을 가지고 처리할 수 있는 장치를 개발했다고 발표한 바 있다. 이 관계자는 또한 이번 7세대 용 장치 개발은 6세대 장치와 병행하여 진행되었으며 약 천만불 정도의 개발비가 투입되었고, 이러한 획기적인 개발을 통해 주성은 향후 7 세대 시장 점유율을 70% 이상 확보할 수 있다는 강한 자신감을 보이고 있다. 시장 진입한 지 1년 남짓 된 상태에서 이미 올 시장 점유율 20% 달성이 무난할 것으로 보이는 주성이 이번 새로이 개발된 PE-CVD 장치로써 본격적인 7세대 시장 선점 여부와, 전세계의 판넬 업체들이 7세대의 조기 투자를 통하여 대형 TV 용 LCD 생산에 훨씬 쉽게 다가갈 수 있는 계기가 될 수 있을 지에 관심이 모아지고 있다.